Hệ thống bơm và bật Turbopump được đẩy từ tính CXF-250 / 2301E

Bơm Maglev, CXF-250 / 2301E, Làm mát bằng nước, Trên bo mạch

Máy bơm phân tử bay từ tính là máy bơm mà trục được hỗ trợ bởi lực từ trường.

Dòng máy bơm phân tử hút từ tính là thiết bị tạo chân không do KYKY phát triển để đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đại, sản xuất chip, xi mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học.

Công nghệ:

• Công nghệ điều khiển vòng bi từ tính: một trục từ trường 5 trục, dựa trên lý thuyết điều khiển quốc tế tiên tiến, để đảm bảo những lợi thế đáng kể của trục tốc độ cao như hoạt động ổn định và đáng tin cậy.
• Công nghệ điều khiển động cơ: Hệ thống điều khiển servo và động cơ DC tốc độ cao hiệu quả cao, sử dụng năng lượng tối đa của động cơ và tự động bù tốc độ quay của trục, do đó giúp khởi động ổn định, hoạt động đáng tin cậy và chức năng tự động điều chỉnh năng lượng động.
• Công nghệ rôto composite sợi carbon: Được làm bằng hợp kim nhôm có độ bền cao và sợi carbon nhẹ.có đặc điểm là giảm trọng lượng lớn và cải thiện đáng kể sức mạnh, để đạt được các mục tiêu về tốc độ quay cao, hiệu suất cao và độ tin cậy cao.
• Công nghệ chống ăn mòn: Bề mặt của các bộ phận trong buồng được xử lý bằng quy trình đặc biệt, để bề mặt có thể chống lại sự ăn mòn do khí ăn mòn trong quá trình sản xuất chất bán dẫn trong một thời gian dài.Ngoài ra, các khí trơ như N2 được lấp đầy trong trục của máy bơm để bảo vệ các bộ phận chân không thấp trong máy bơm, để thực hiện chức năng thải khí ăn mòn ổn định trong thời gian dài.
• Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sưởi ấm: được trang bị lò sưởi điện và bộ điều khiển nhiệt độ, nước làm mát, hệ thống sưởi không khí, hệ thống sưởi bằng điện và nhiệt mang theo khí bảo vệ có thể được theo dõi và kiểm soát trong quá trình vận hành, nhiệt độ trong máy bơm có thể được duy trì ở một số giá trị trong thời gian dài, một số dạng khí Các chất không bị chuyển hóa thành chất rắn ở nhiệt độ bình thường và không bị lắng đọng trong máy bơm, và các yêu cầu đối với quy trình khắc đặc biệt có thể được đáp ứng.

Các ứng dụng:

Dòng máy bơm phân tử hút từ tính chủ yếu được ứng dụng trong các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất clip, xi mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là để chiết xuất khí ăn mòn tồn tại trong etch, CVD, PVD và cấy ion và khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường.

Thông số kỹ thuật: