Thông tin chi tiết sản phẩm:
Thanh toán:
|
Mặt bích: | DN150CF | Áp suất cuối cùng: | 7E-8 Pa |
---|---|---|---|
Vôn: | -5KV | Tốc độ bơm: | 110L / s không khí |
Điểm nổi bật: | bơm ion varian,bơm ion starcell |
Bơm ion, 3L-100, DN150CF, 110L / s Air, 24L / s Ar, -5KV, 2.7E-8Pa
Bơm Sputter-ion là thiết bị tạo chân không để thu được chân không sạch và siêu cao.Bơm sputter-ion là bơm chính của dầu ít bộ chân không siêu cao.Bơm ion hoạt động trong một hệ thống khép kín không yêu cầu bơm hỗ trợ làm việc liên tục.
Nguyên tắc:
Chất liệu của cực dương là thùng thép không gỉ, và chất liệu của cực âm là tấm istitanium.Quá trình phóng điện Penning làm ion hóa chất khí dưới tác dụng chung của từ trường và điện trường, do đó hiện tượng cạn kiệt khí.
Bơm ion Triode được cải tiến để tăng tốc độ bơm khí trơ;các ion của khí trơ chịu tác động của sự xâm nhập vào lưới titan của catốt, sau đó được trung hòa và phản xạ đến thành máy bơm và cực dương để được chôn cùng với màng titan.Do khí trơ chôn trong thành máy bơm sẽ không được thoát ra ngoài do sự bắn phá của ion dương, nên tốc độ bơm khí trơ được tăng lên.
Thuận lợi:
Dòng máy bơm này có những ưu điểm như sạch sẽ, độ chân không cao, không ồn, không rung và thuận tiện trong vận hành.
Các ứng dụng:
1. Máy gia tốc hạt năng lượng cao
2. Thiết bị phản ứng nhiệt hạch có điều khiển
3. Thiết bị chân không điện
4. Vật liệu bán dẫn
5. Kính hiển vi điện tử
6. Khối phổ kế
Thông số kỹ thuật:
Người mẫu | 3L-100 | |||
Mặt bích | DN150CF | |||
Tốc độ bơm (L / S) | ( không khí) | 110 | ||
Tốc độ bơm | (Ar) | 24 | ||
Áp suất khởi động (Pa) | ≤5 × 10-4 | |||
áp suất cuối cùng (Pa) | 7 × 10-số 8 | |||
(℃) nhiệt độ nướng | < 200 | |||
Với từ tính | ||||
Không có từ tính | < 300 | |||
điện áp làm việc (KV) | -5 | |||
đơn vị điện cực | 4 | |||
kích thước (mm) | 140 × 210 (4-M10) | |||
L * W * H (mm) | 350 × 250 × 307 | |||
(kg) trọng lượng | 38 |
Người liên hệ: sales
Tel: +8613810212935