KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Đổi mới công cụ khoa học

Phát triển thành Doanh nghiệp hạng nhất

Nhà Sản phẩmBơm phân tử

Bơm chân không Turbomolecular có từ tính Rung động thấp CXF-320 / 3000E

Chứng nhận
Trung Quốc KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Chứng chỉ
Trung Quốc KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Chứng chỉ
Tôi trò chuyện trực tuyến bây giờ

Bơm chân không Turbomolecular có từ tính Rung động thấp CXF-320 / 3000E

large.img.alt
small.img.alt

Hình ảnh lớn :  Bơm chân không Turbomolecular có từ tính Rung động thấp CXF-320 / 3000E

Thông tin chi tiết sản phẩm:
Nguồn gốc: Trung Quốc
Hàng hiệu: KYKY
Chứng nhận: CE
Số mô hình: CXF-320 / 3000E
Thanh toán:
Số lượng đặt hàng tối thiểu: 1
chi tiết đóng gói: Hộp gỗ gửi hàng đi nước ngoài
Thời gian giao hàng: 4 tuần
Điều khoản thanh toán: T / T, L / C
Chi tiết sản phẩm
Tốc độ bơm: 3000L / s N2 Bộ điều khiển: bên ngoài
Mặt bích: LÀ CỦA Làm mát: nước
Điểm nổi bật:

máy bơm phân tử turbo

,

máy bơm chân không turbo

Bơm Maglev, CXF-320 / 3000E, Làm mát bằng nước, ISO-F, Bộ điều khiển bên ngoài

Máy bơm phân tử bay từ tính là máy bơm mà trục được hỗ trợ bởi lực từ trường.

Dòng máy bơm phân tử hút từ tính là thiết bị tạo chân không do KYKY phát triển để đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đại, sản xuất chip, xi mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học.

 

Vòng bi điện từ còn được gọi là "gấu bay từ tính chủ động", bao gồm một vòng bi từ tính, một bộ cảm biến và một hệ thống điều khiển.Thiết kế này có phản ứng năng động và điều chỉnh kịp thời, trục tốc độ cao và hoạt động đáng tin cậy.

 

Những lợi thế:

1. Không có ma sát trong quá trình hoạt động và tiêu thụ điện năng thấp

2. Dễ dàng có được chân không cao thực sự sạch và chân không siêu cao mà không cần bôi trơn cho máy bơm

3. Có khả năng hút khí ăn mòn trong thời gian dài

4. Độ an toàn cao và tuổi thọ lâu dài do được bảo vệ vòng bi bằng bi sứ chính xác

5. chức năng tạo điện trong trường hợp tắt nguồn đột ngột

6. Không có ma sát

7. Không ô nhiễm

8. Miễn phí bảo trì

9. Độ rung thấp

10. được cài đặt theo bất kỳ hướng nào.

 

Công nghệ:

  • Công nghệ điều khiển vòng bi từ tính: 5 trục từ trường bay lên.Thiết kế này có thể có phản ứng động và điều chỉnh kịp thời bằng công nghệ điều khiển hệ thống treo từ tính mạch kín chủ động dựa trên lý thuyết điều khiển quốc tế tiên tiến, để đảm bảo những lợi thế đáng kể của trục tốc độ cao như hoạt động ổn định và đáng tin cậy.
  • Công nghệ điều khiển động cơ: Động cơ DC tốc độ cao hiệu suất cao và hệ thống điều khiển servo được áp dụng cho các máy bơm hút từ tính nối tiếp, do đó để có năng lượng tối đa của động cơ và tự động bù tốc độ quay của trục, do đó thực hiện khởi động ổn định, hoạt động đáng tin cậy và điều chỉnh tự động cơ năng của động năng.
  • Công nghệ rôto composite sợi carbon: Các cánh quạt tuabin của máy bơm phân tử hệ thống treo từ nối tiếp được chế tạo bằng hợp kim nhôm có độ bền cao và sợi carbon nhẹ.So với tất cả các rôto bằng hợp kim nhôm, rôto tuabin có đặc điểm là giảm trọng lượng đáng kể và cải thiện đáng kể sức mạnh, để đạt được các mục tiêu về tốc độ quay cao, hiệu suất cao và độ tin cậy cao.
  • Công nghệ chống ăn mòn: Bề mặt của các bộ phận trong buồng của máy bơm phân tử treo từ nối tiếp được xử lý bằng quy trình đặc biệt để bề mặt có thể chống lại sự ăn mòn do khí ăn mòn trong quá trình sản xuất chất bán dẫn trong thời gian dài.Ngoài ra, các khí trơ như N2 được lấp đầy trong trục của máy bơm để bảo vệ các bộ phận chân không thấp trong máy bơm, để thực hiện chức năng thải khí ăn mòn ổn định trong thời gian dài.
  • Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sưởi ấm: Dòng máy bơm phân tử bay hơi từ tính được trang bị bộ gia nhiệt điện và bộ điều khiển nhiệt độ, do đó, nước làm mát, hệ thống sưởi không khí, hệ thống sưởi điện và nhiệt do khí bảo vệ mang theo có thể được theo dõi và kiểm soát trong quá trình vận hành, nhiệt độ trong máy bơm có thể được duy trì ở một số giá trị trong thời gian dài, một số chất khí không chuyển hóa thành chất rắn ở nhiệt độ bình thường và không lắng đọng trong máy bơm, và các yêu cầu đối với quá trình khắc đặc biệt như khắc có thể được đáp ứng.

Thông số kỹ thuật:

Mặt bích (Trong) DN250 ISO-F
Mặt bích (Ra) KF DN50
Tốc độ bơm (L / s) n2: 3000
Ar: 2750
Anh ấy: 2300
NS2: 1100
Tỷ lệ nén n2: 10số 8
Ar: 10số 8
Anh ấy: 104
NS2: 103
Áp suất tối thiểu (Pa) CF: 1 × 10-6
ISO-K / F: 6 × 10-6
Tối đaÁp suất chân không trước liên tục (Pa) 40
Tối đaÁp suất chân không trước n2: 290
Khí trong suốt (sccm) n2: 5800
Ar: 2200
Anh ấy: 4300
NS2: 3100
Tốc độ quay (vòng / phút) 21000
Thời gian chạy (tối thiểu) ≤18
Loại làm mát, tiêu chuẩn Nước
Tiêu thụ nước làm mát (L / phút) 1
Nhiệt độ nước làm mát (℃) 20
Kết nối nguồn: Điện áp (V AC) 220
Mô hình bộ điều khiển CXF-3000
Trọng lượng (kg) 70

 

Các ứng dụng:

Dòng máy bơm phân tử hút từ tính chủ yếu được ứng dụng trong các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất clip, xi mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là để chiết xuất khí ăn mòn tồn tại trong etch, CVD, PVD và cấy ion và khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường.

Chi tiết liên lạc
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Người liên hệ: sales

Tel: +8613810212935

Gửi yêu cầu thông tin của bạn trực tiếp cho chúng tôi (0 / 3000)