KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Đổi mới công cụ khoa học

Phát triển thành Doanh nghiệp hạng nhất

Nhà Sản phẩmBơm phân tử

Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sưởi ấm bằng máy bơm làm mát bằng từ tính ISO-K / CF

Chứng nhận
Trung Quốc KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Chứng chỉ
Trung Quốc KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. Chứng chỉ
Tôi trò chuyện trực tuyến bây giờ

Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sưởi ấm bằng máy bơm làm mát bằng từ tính ISO-K / CF

large.img.alt
small.img.alt

Hình ảnh lớn :  Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sưởi ấm bằng máy bơm làm mát bằng từ tính ISO-K / CF

Thông tin chi tiết sản phẩm:
Nguồn gốc: Trung Quốc
Hàng hiệu: KYKY
Chứng nhận: CE
Số mô hình: CXF-250 / 2301E
Thanh toán:
Số lượng đặt hàng tối thiểu: 1
chi tiết đóng gói: Hộp gỗ gửi hàng đi nước ngoài
Thời gian giao hàng: 4 tuần
Điều khoản thanh toán: T / T, L / C
Chi tiết sản phẩm
Bôi trơn: Tàu đệm từ Mặt bích: ISO-K / CF
làm mát: Nước Tốc độ bơm: 2300L / s N2
Điểm nổi bật:

máy bơm phân tử turbo

,

máy bơm chân không phân tử tua bin

Bơm Maglev, CXF-250/2301, ISO-K / CF, Làm mát bằng nước trên bo mạch

Máy bơm phân tử hút từ tính là máy bơm mà trục được hỗ trợ bởi lực từ trường, đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đại, sản xuất chip, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học.

 

Công nghệ:

  • Công nghệ điều khiển vòng bi từ tính: một trục từ trường 5 trục, dựa trên lý thuyết điều khiển quốc tế tiên tiến, để đảm bảo những lợi thế đáng kể của trục tốc độ cao như hoạt động ổn định và đáng tin cậy.
  • Công nghệ điều khiển động cơ: Hệ thống điều khiển servo và động cơ DC tốc độ cao hiệu quả cao, sử dụng năng lượng tối đa của động cơ và tự động bù tốc độ quay của trục, do đó giúp khởi động ổn định, hoạt động đáng tin cậy và chức năng tự động điều chỉnh năng lượng động.
  • Công nghệ rôto composite sợi carbon: Được làm bằng hợp kim nhôm có độ bền cao và sợi carbon nhẹ.có đặc điểm là giảm trọng lượng lớn và cải thiện đáng kể sức mạnh, để đạt được các mục tiêu về tốc độ quay cao, hiệu suất cao và độ tin cậy cao.
  • Công nghệ chống ăn mòn: Bề mặt của các bộ phận trong buồng được xử lý bằng quy trình đặc biệt, để bề mặt có thể chống lại sự ăn mòn do khí ăn mòn trong quá trình sản xuất chất bán dẫn trong một thời gian dài.Ngoài ra, các khí trơ như N2 được lấp đầy trong trục của máy bơm để bảo vệ các bộ phận chân không thấp trong máy bơm, để thực hiện chức năng thải khí ăn mòn ổn định trong thời gian dài.
  • Hệ thống kiểm soát nhiệt độ sưởi ấm: được trang bị lò sưởi điện và bộ điều khiển nhiệt độ, nước làm mát, hệ thống sưởi không khí, hệ thống sưởi bằng điện và nhiệt mang theo khí bảo vệ có thể được theo dõi và kiểm soát trong quá trình vận hành, nhiệt độ trong máy bơm có thể được duy trì ở một số giá trị trong thời gian dài, một số dạng khí Các chất không bị chuyển hóa thành chất rắn ở nhiệt độ bình thường và không bị lắng đọng trong máy bơm, và các yêu cầu đối với quy trình khắc đặc biệt có thể được đáp ứng.

 

Những lợi thế:

Máy bơm này có các ưu điểm, chẳng hạn như Không ma sát trong quá trình hoạt động và tiêu thụ điện năng thấp, Dễ dàng có được chân không thực sự sạch cao và chân không siêu cao mà không cần bôi trơn cho máy bơm, Có khả năng hút khí ăn mòn trong thời gian dài, Độ an toàn cao và tuổi thọ lâu dài do được bảo vệ vòng bi với bi gốm chính xác và chức năng tạo điện trong trường hợp mất điện đột ngột.Nó có các ưu điểm như không có ma sát, ô nhiễm và bảo trì, đồng thời có độ rung thấp và có thể được lắp đặt theo bất kỳ hướng nào.

 

Các ứng dụng:

Khai thác khí ăn mòn tồn tại trong etch, CVD, PVD và cấy ion và khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường trong các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất clip, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là.

 

Thông số kỹ thuật:

 

Người mẫu CXF-250/2301
Tốc độ bơm (l / s, không khí) 2200
Tỷ lệ nén > 1 × 107
Chân không cuối cùng (Pa) ≤2 × 10-7
Mặt bích đầu vào DN250 ISO K (LF)
DN250 ISO F
DN250 ISO CF
Mặt bích đầu ra KF 40
Tốc độ quay (vòng / phút) 30000
Thời gian khởi động (tối thiểu) số 8
VIB (mm) <0,05
Bơm dự phòng (L / s) 15
Gắn hoặc ientation Không tí nào
Phương pháp làm mát Nước
Trọng lượng (kg) (Có bộ điều khiển) 58

Chi tiết liên lạc
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Người liên hệ: sales

Tel: +8613810212935

Gửi yêu cầu thông tin của bạn trực tiếp cho chúng tôi (0 / 3000)