Thông tin chi tiết sản phẩm:
Thanh toán:
|
Bôi trơn: | Tàu đệm từ | Mặt bích: | ISO-K / CF |
---|---|---|---|
làm mát: | Nước | Tốc độ bơm: | 2300L / s N2 |
Điểm nổi bật: | máy bơm phân tử turbo,máy bơm chân không phân tử tua bin |
Bơm Maglev, CXF-250/2301, ISO-K / CF, Làm mát bằng nước trên bo mạch
Máy bơm phân tử hút từ tính là máy bơm mà trục được hỗ trợ bởi lực từ trường, đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đại, sản xuất chip, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học.
Công nghệ:
Những lợi thế:
Máy bơm này có các ưu điểm, chẳng hạn như Không ma sát trong quá trình hoạt động và tiêu thụ điện năng thấp, Dễ dàng có được chân không thực sự sạch cao và chân không siêu cao mà không cần bôi trơn cho máy bơm, Có khả năng hút khí ăn mòn trong thời gian dài, Độ an toàn cao và tuổi thọ lâu dài do được bảo vệ vòng bi với bi gốm chính xác và chức năng tạo điện trong trường hợp mất điện đột ngột.Nó có các ưu điểm như không có ma sát, ô nhiễm và bảo trì, đồng thời có độ rung thấp và có thể được lắp đặt theo bất kỳ hướng nào.
Các ứng dụng:
Khai thác khí ăn mòn tồn tại trong etch, CVD, PVD và cấy ion và khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường trong các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất clip, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học, đặc biệt là.
Thông số kỹ thuật:
Người mẫu | CXF-250/2301 |
Tốc độ bơm (l / s, không khí) | 2200 |
Tỷ lệ nén | > 1 × 107 |
Chân không cuối cùng (Pa) | ≤2 × 10-7 |
Mặt bích đầu vào | DN250 ISO K (LF) |
DN250 ISO F | |
DN250 ISO CF | |
Mặt bích đầu ra | KF 40 |
Tốc độ quay (vòng / phút) | 30000 |
Thời gian khởi động (tối thiểu) | số 8 |
VIB (mm) | <0,05 |
Bơm dự phòng (L / s) | 15 |
Gắn hoặc ientation | Không tí nào |
Phương pháp làm mát | Nước |
Trọng lượng (kg) (Có bộ điều khiển) | 58 |
Người liên hệ: sales
Tel: +8613810212935