Thông tin chi tiết sản phẩm:
Thanh toán:
|
Mặt bích: | ISO-K / CF DN200 | Làm mát: | Nước |
---|---|---|---|
Bôi trơn: | Tàu đệm từ | Tốc độ bơm: | 1400L / s N2 |
Điểm nổi bật: | máy bơm phân tử turbo,máy bơm chân không phân tử tua bin |
Bơm Maglev, CXF-200/1400, Làm mát bằng nước, ISO-K / CF, Bộ điều khiển bên ngoài
Máy bơm phân tử bay từ tính là máy bơm mà trục được hỗ trợ bởi lực từ trường.
Dòng máy bơm phân tử hút từ tính là thiết bị tạo chân không do KYKY phát triển để đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cho các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đại, sản xuất chip, xi mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học.
Công nghệ:
Những lợi thế:
1. Không có ma sát trong quá trình hoạt động và tiêu thụ điện năng thấp
2. Dễ dàng có được chân không cao thực sự sạch và chân không siêu cao mà không cần bôi trơn cho máy bơm
3. Có khả năng hút khí ăn mòn trong thời gian dài
4. Độ an toàn cao và tuổi thọ lâu dài do được bảo vệ vòng bi bằng bi sứ chính xác
5. chức năng tạo điện trong trường hợp tắt nguồn đột ngột
6. Không có ma sát
7. Không ô nhiễm
8. Miễn phí bảo trì
9. Độ rung thấp
10. được cài đặt theo bất kỳ hướng nào.
Các ứng dụng:
Khai thác khí ăn mòn tồn tại trong etch, CVD, PVD và cấy ion và khí dễ đông tụ ở nhiệt độ bình thường trong các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, sản xuất clip, mạ công nghiệp và dụng cụ khoa học,.
Thông số kỹ thuật:
Mặt bích (Trong) | DN200 CF / ISO-K, ISO-F |
Mặt bích (Ra) KF | DN40 |
Tốc độ bơm (L / s) | n2: 1400 |
Ar: 1360 | |
Anh ấy: 880 | |
NS2: 560 | |
Tỷ lệ nén | n2: 10số 8 |
Ar: 10số 8 | |
Anh ấy: 104 | |
NS2: 103 | |
Áp suất tối thiểu (Pa) | CF: 1 × 10-6 |
ISO-K / F: 6 × 10-6 | |
Tối đaÁp suất chân không trước liên tục (Pa) | 100 |
Tối đaÁp suất chân không trước | n2: 210 |
Khí trong suốt (sccm) | n2: 2700 |
Ar: 980 | |
Anh ấy: 2000 | |
NS2: 1800 | |
Tốc độ quay (vòng / phút) | 30000 |
Thời gian chạy (tối thiểu) | ≤8 |
Loại làm mát, tiêu chuẩn | Nước |
Tiêu thụ nước làm mát (L / phút) | 1 |
Nhiệt độ nước làm mát (℃) | 20 |
Kết nối nguồn: Điện áp (V AC) | 220 |
Mô hình bộ điều khiển | CXF-1400 |
Trọng lượng (kg) | 50 (ISO-K / F) 52 (CF) |
Người liên hệ: sales
Tel: +8613810212935