Đổi mới công cụ khoa học
Phát triển thành Doanh nghiệp hạng nhất
|
Thông tin chi tiết sản phẩm:
Thanh toán:
|
| Mặt bích: | DN100CF | tốc độ bơm: | 55L / s không khí |
|---|---|---|---|
| Áp suất cuối cùng: | 7E-8 Pa | Vôn: | -5KV |
| Làm nổi bật: | bơm ion varian,bơm ion starcell |
||
Bơm ion, 3L-50, DN100CF, Không khí 55L / s, 12L / s Ar, -5KV
Bơm Sputter-ion là thiết bị tạo chân không để thu được chân không sạch và siêu cao.
Bơm sputter-ion là bơm chính của dầu ít bộ chân không siêu cao.
Bơm ion hoạt động trong một hệ thống khép kín không yêu cầu bơm hỗ trợ làm việc liên tục.
Nguyên tắc:
Chất liệu của cực dương là thùng thép không gỉ, và chất liệu của cực âm là tấm istitanium.Quá trình phóng điện Penning làm ion hóa chất khí dưới tác dụng chung của từ trường và điện trường, do đó hiện tượng cạn kiệt khí.
Bơm ion Triode được cải tiến để tăng tốc độ bơm khí trơ;các ion của khí trơ chịu tác động của sự xâm nhập vào lưới titan của catốt, sau đó được trung hòa và phản xạ đến thành máy bơm và cực dương để được chôn cùng với màng titan.Do khí trơ chôn trong thành máy bơm sẽ không được thoát ra ngoài do sự bắn phá của ion dương, nên tốc độ bơm khí trơ được tăng lên.
Thuận lợi:
1. Độ chân không cao
2. Không rung
3. Không tiếng ồn
4. Sạch sẽ
5. Thuận tiện để hoạt động
Các ứng dụng:
Nó có thể được áp dụng cho các thiết bị thí nghiệm khoa học như máy gia tốc hạt năng lượng cao, thiết bị phản ứng nhiệt hạch có điều khiển, thiết bị chân không điện, vật liệu bán dẫn, kính hiển vi điện tử và khối phổ, và các thiết bị công nghiệp khác yêu cầu chân không siêu cao.
Thông số kỹ thuật:
| Người mẫu | 3L-50 | ||
| Mặt bích | DN100CF | ||
| Tốc độ bơm (L / S) | ( không khí) | 55 | |
| Tốc độ bơm | (Ar) | 12 | |
| Áp suất khởi động (Pa) | ≤5 × 10-4 | ||
| áp suất cuối cùng (Pa) | 7 × 10-số 8 | ||
| (℃) nhiệt độ nướng | ＜ 200 | ||
| Với từ tính | |||
| Không có từ tính | ＜ 300 | ||
| điện áp làm việc (KV) | -5 | ||
| đơn vị điện cực | 2 | ||
| kích thước (mm) | 90 × 90 (4-M6) | ||
| L * W * H (mm) | 290 × 120 × 299 | ||
| (kg) trọng lượng | 22 | ||
Người liên hệ: Ms. Wang He
Tel: 86-10- 82548271
Fax: 86-010-62564613
