Đổi mới công cụ khoa học
Phát triển thành Doanh nghiệp hạng nhất
|
Thông tin chi tiết sản phẩm:
Thanh toán:
|
| Resolution: | SE：3nm@30KV，8nm@3kV； BSE ：4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
|---|---|---|---|
| Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
| Làm nổi bật: | kính hiển vi điện tử sem,máy sem |
||
Khi Kyky hơn 60 năm kinh nghiệm sản xuất SEM, toàn bộ chuỗi EM hỗ trợ hệ thống cũ được tân trang lại và tùy chỉnh là SEM+, chẳng hạn như Remodel Litphography Remodel, Nâng cấp Lab6, tích hợp với STM, AFM, giai đoạn nóng;
PRENANTEGES:
◆ Các mô -đun chân không thấp tùy chọn (LVSE, LVBSE)
◆ Các chức năng tự động hóa phong phú
◆ Tùy chỉnh cột/buồng/hệ thống điện
◆ Phòng kích thước lớn tùy chọn
◆ Camera điều hướng trường rộng
◆ Tính đính kèm mở rộng phong phú
Thông số kỹ thuật:
| Mục | EM6910 FIRSTEN SEM SEM | |
| Nghị quyết | SE: 3nm@30kv, 8nm@3kv BSE: 4NM@30kv | |
| Độ phóng đại | 1X-450000X | |
| Súng điện tử | Dây tóc vonfram liên kết trước | |
| Tăng tốc điện áp |
0,2kV-30kV
|
|
|
Hệ thống chân không
|
Bơm phân tử Turbo +Bơm cơ học
|
|
| Khẩu độ khách quan | Molypdenum Aperture có thể điều chỉnh bên ngoài hệ thống chân không | |
| Giai đoạn mẫu vật | Năm trục giai đoạn | |
| Du lịch | X (tự động) | 0 ~ 80mm |
| Phạm vi | Y (tự động) | 0 ~ 50mm |
| Z (thủ công) | 0 ~ 30 mm | |
| R (Hướng dẫn) | 360 ° | |
| T (thủ công) | -5 ° ~ 70 ° | |
| Đường kính mẫu tối đa | 175mm | |
| Máy dò |
Máy dò điện tử thứ cấp
|
|
|
Máy dò BSE bán dẫn ※
|
||
|
CCD hồng ngoại
|
||
| BSED thấp SED ※/ BSED thấp ※
|
||
| Sửa đổi | Nâng cấp giai đoạn; EBL; STM; AFM; Giai đoạn sưởi ấm; Giai đoạn cryo; Giai đoạn kéo; Trình điều khiển micro-nano; Máy phủ SEM+; SEM+laser | |
| Phụ kiện | Lab6, máy dò tia X (EDS), EBSD, CL, WDS, máy phủ | |
|
Chức năng chân không thấp ※
|
Nước chân không 10-270PA SE: 4nm@30kv, 50Pa
|
|
Người liên hệ: Ms. Wang He
Tel: 86-10- 82548271
Fax: 86-010-62564613
